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- VZXHA9 accessRights PUBLIC @default.
- VZXHA9 bibliographicCitation "Dehaerne, Enrique; Dey, Bappaditya; Blanco, Victor; Davis, Jesse, 2025, "Supplementary materials for: "Scanning Electron Microscopy-based Automatic Defect Inspection for Semiconductor Manufacturing: A Systematic Review"", https://doi.org/10.48804/VZXHA9, KU Leuven RDR, V1" @default.
- VZXHA9 created "2025-04-25T09:50:34Z" @default.
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- VZXHA9 creator 0000-0002-3748-9263 @default.
- VZXHA9 description "Cet ensemble de données contient des documents supplémentaires pour: «Scanning Electron Microscopy-based Automatic Defect Inspection for Semiconductor Manufacturing: Une revue systématique". Plus précisément, il fournit (i) un document contenant les commandes de recherche complètes utilisées pour identifier les enregistrements / papiers, (ii) une feuille de calcul des résultats de la présélection, (iii) une feuille de calcul des articles sélectionnés et leurs résultats de catégorisation, et (iv) un document BibTeX avec des citations pour les articles sélectionnés." @default.
- VZXHA9 description "Deze dataset bevat aanvullend materiaal voor: "Scanning Elektronenmicroscopie-gebaseerde Automatische Defect Inspectie voor Halfgeleider Productie: Een systematische review. Meer in het bijzonder bevat het (i) een document met de volledige zoekopdrachten die worden gebruikt om records/papieren te identificeren, (ii) een spreadsheet met de screeningresultaten, (iii) een spreadsheet met de geselecteerde papers en hun categoriseringsresultaten, en (iv) een BibTeX-document met citaten voor de geselecteerde papers." @default.
- VZXHA9 description "Dieser Datensatz enthält ergänzende Materialien für: „Scanning Electron Microscopy-based Automatic Defect Inspection for Semiconductor Manufacturing: Eine systematische Überprüfung. Genauer gesagt, bietet es (i) ein Dokument mit den vollständigen Suchbefehlen, die zur Identifizierung von Datensätzen / Papieren verwendet werden, (ii) eine Tabelle der Screening-Ergebnisse, (iii) eine Tabelle der ausgewählten Papiere und ihrer Kategorisierungsergebnisse und (iv) ein BibTeX-Dokument mit Zitaten für die ausgewählten Papiere." @default.
- VZXHA9 description "This dataset contains supplementary materials for: "Scanning Electron Microscopy-based Automatic Defect Inspection for Semiconductor Manufacturing: A Systematic Review". More specifically, it provides (i) a document containing the full search commands used to identify records/papers, (ii) a spreadsheet of the screening results, (iii) a spreadsheet of the selected papers and their categorization results, and (iv) a BibTeX document with citations for the selected papers." @default.
- VZXHA9 identifier "doi:10.48804/VZXHA9" @default.
- VZXHA9 issued "2025-04-25T14:18:53Z" @default.
- VZXHA9 modified "2025-04-25T14:18:53Z" @default.
- VZXHA9 publisher 0419052173 @default.
- VZXHA9 subject "Electrical and electronic engineering" @default.
- VZXHA9 subject "Information and computing sciences" @default.
- VZXHA9 subject "Mechanical and manufacturing engineering" @default.
- VZXHA9 title "Aanvullende materialen voor: "Scanning Elektronenmicroscopie-gebaseerde Automatische Defect Inspectie voor Halfgeleider Productie: Een systematische review" @default.
- VZXHA9 title "Ergänzende Materialien für: „Scanning Electron Microscopy-based Automatic Defect Inspection for Semiconductor Manufacturing: Eine systematische Überprüfung"" @default.
- VZXHA9 title "Matériel supplémentaire pour: «Scanning Electron Microscopy-based Automatic Defect Inspection for Semiconductor Manufacturing: Un examen systématique"" @default.
- VZXHA9 title "Supplementary materials for: "Scanning Electron Microscopy-based Automatic Defect Inspection for Semiconductor Manufacturing: A Systematic Review"" @default.
- VZXHA9 citedBy genid68218 @default.
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- VZXHA9 contactPoint genid68219 @default.
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